REIN, Stefan, HAUNSCHILD, Jonas, VAHLMAN, Henri, DEMANT, Matthias, SORGENFREI, Ralf, SCHINDLER, Florian, AL-HAJJAWI, Saed, SCHÖNAUER, Jonas, TRÖTSCHLER, Theresa, DAKLE, Jonas und HEINZ, Friedemann D., 2022. "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021. Freiburg: Fraunhofer ISE.

Rein, S., Haunschild, J., Vahlman, H., Demant, M., Sorgenfrei, R., Schindler, F., Al-Hajjawi, S., Schönauer, J., Trötschler, T., Dakle, J., Heinz, F.D., 2022. "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021. Fraunhofer ISE, Freiburg. https://doi.org/10.2314/KXP:1879509857

Rein, S., Haunschild, J., Vahlman, H., Demant, M., Sorgenfrei, R., Schindler, F., Al-Hajjawi, S., Schönauer, J., Trötschler, T., Dakle, J., & Heinz, F. D. (ca. 2022). "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021 [Cd]. Fraunhofer ISE. https://doi.org/10.2314/KXP:1879509857

Rein S, Haunschild J, Vahlman H, Demant M, Sorgenfrei R, Schindler F, Al-Hajjawi S, Schönauer J, Trötschler T, Dakle J, Heinz FD (2022) "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021. Fraunhofer ISE, Freiburg

Rein, Stefan/ Haunschild, Jonas/ Vahlman, Henri/ Demant, Matthias/ Sorgenfrei, Ralf/ Schindler, Florian/ Al-Hajjawi, Saed/ Schönauer, Jonas/ Trötschler, Theresa/ Dakle, Jonas/ Heinz, Friedemann D., "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021, Freiburg 2022.