Treffer: "Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec)
Titel:
"Inspektion von Epi-Wafern und deren Vorstufen" (Epi-Inspec) : Abschlussbericht Verbundforschungsvorhaben : Teilprojekt Fraunhofer ISE "Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen" : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021 / Zuwendungsempfänger: Fraunhofer ISE ; Projektleiter: Dr. Stefan Rein ; Berichterstattung: Stefan Rein, Jonas Haunschild, Henri Vahlmann, Matthias Demant, Ralf Sorgenfrei, Florian Schindler, Saed Al-Hajjawi, Jonas Schönauer, Theresa Trötschler, Jonas Dalke, Friedemann Heinz
Verantwortlich:
Rein, Stefan (Verfasser); Haunschild, Jonas (Verfasser) ; Vahlman, Henri (Verfasser); Demant, Matthias (Verfasser) ; Sorgenfrei, Ralf (Verfasser) ; Schindler, Florian (Verfasser) ; Al-Hajjawi, Saed (Verfasser); Schönauer, Jonas (Verfasser); Trötschler, Theresa (Verfasser) ; Dakle, Jonas (Verfasser); Heinz, Friedemann D. (Verfasser)
Veröffentlicht:
Freiburg : Fraunhofer ISE, 2022
Vertrieb:
Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
Umfang:
1 Online-Ressource (52 Seiten, 3,09 MB) : Illustrationen, Diagramme
Publikationstyp:
Sprache:
Deutsch
Anmerkungen:
Literaturverzeichnis: Seite 50-51
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
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Schlagworte:
DOI:
10.2314/KXP:1879509857