Treffer: Automated analysis of X-ray topography of 4H-SiC wafers
Titel:
Automated analysis of X-ray topography of 4H-SiC wafers : : image analysis, numerical computations, and artificial intelligence approaches for locating and characterizing screw dislocations
Verantwortlich:
Veröffentlicht:
Freiburg : Universität, 2024
Umfang:
1 Online-Ressource
Publikationstyp:
Sprache:
Englisch
Anmerkungen:
Journal of materials research. - 38 (2023) , 1254-1265, ISSN: 2044-5326
DOI:
10.1557/s43578-022-00880-z